电子与封装2021，Vol.21Issue(9)：62-65,4.DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2021.0910
掩模可制造性规则检查的研究
The Research of Manufacturing Rule Check on Mask
魏晓群 1谢旦艳 1华卫群1
作者信息
- 1. 中微掩模电子有限公司,江苏无锡214028
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摘要
关键词
参数设置/曝光效果/筛选分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
魏晓群,谢旦艳,华卫群..掩模可制造性规则检查的研究[J].电子与封装,2021,21(9):62-65,4.
