电子与封装2021，Vol.21Issue(9)：77-80,4.DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2021.0915
厚栅氧PMOSγ射线剂量探测器芯片工艺优化研究
Study on Process Optimization of Thick Gate Oxygen PMOS Gamma Ray Dose Detector Chip
张玲玲 1郭凤丽 1石磊1
作者信息
- 1. 中科芯集成电路有限公司,江苏无锡214072
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摘要
关键词
PMOS/厚栅氧/阈值电压分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张玲玲,郭凤丽,石磊..厚栅氧PMOSγ射线剂量探测器芯片工艺优化研究[J].电子与封装,2021,21(9):77-80,4.
