电子元件与材料2021，Vol.40Issue(12)：1184-1188,5.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2021.0409
磁控溅射制备ZnO/p-Si多孔纳米薄膜异质结及其室温气敏特性
Room temperature gas sensing properties of ZnO/p-Si porous nano-film heterojunction prepared by magnetron sputtering
摘要
关键词
多孔纳米薄膜/ZnO/p-Si异质结/室温/磁控溅射/气敏分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
吴鹏举,刘文强,杨莹丽,王康佳,王国东..磁控溅射制备ZnO/p-Si多孔纳米薄膜异质结及其室温气敏特性[J].电子元件与材料,2021,40(12):1184-1188,5.基金项目
国家自然科学基金(62173428) （62173428）
河南省高校科技创新团队支持计划(21IRTSTHN016) （21IRTSTHN016）
河南省高校基本科研业务费专项资金项目(NSFRF210324) （NSFRF210324）
