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Na掺杂MoO3陶瓷靶材的制备及其成膜性能研究

雷金坤李继文李召阳刘伟徐流杰

电子元件与材料2022，Vol.41Issue(1)：40-46,103,8.

电子元件与材料2022，Vol.41Issue(1)：40-46,103,8.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2022.1551

Preparation and film forming properties of Na doped MoO3 ceramic target

雷金坤 ¹李继文 ¹李召阳 ¹刘伟 ¹徐流杰²

作者信息

放电等离子烧结/Na掺杂/MoO3陶瓷靶材/磁控溅射/Na离子源

信息技术与安全科学

雷金坤,李继文,李召阳,刘伟,徐流杰..Na掺杂MoO3陶瓷靶材的制备及其成膜性能研究[J].电子元件与材料,2022,41(1):40-46,103,8.

国家自然科学基金(U1804124) （U1804124）

OA北大核心CSTPCD

ISSN：1001-2028

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