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基于羟基磷灰石的QCM湿度传感器研究

沈兵 徐甲强 王炉煜 陈杨

电子元件与材料2022，Vol.41Issue(1)：53-58,6.
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电子元件与材料2022，Vol.41Issue(1)：53-58,6.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2022.1703

基于羟基磷灰石的QCM湿度传感器研究

QCM based humidity sensor modified with hydroxyapatite

沈兵 1徐甲强 1王炉煜 1陈杨2

作者信息

  • 1. 上海大学 理学院, 上海 200444
  • 2. 上海摇橹仪器有限设备有限公司, 上海 200444
  • 折叠

摘要

关键词

羟基磷灰石/石英晶体微天平/溶胶凝胶法/湿敏特性/检测精度

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

沈兵,徐甲强,王炉煜,陈杨..基于羟基磷灰石的QCM湿度传感器研究[J].电子元件与材料,2022,41(1):53-58,6.

基金项目

国家重点研发计划(2020YFB2008600) （2020YFB2008600）

电子元件与材料

OA北大核心CSTPCD

1001-2028

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