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CMOS-MEMS薄膜热导率的测量

宋翔宇 许威

电子与封装2022，Vol.22Issue(2)：88,1.
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电子与封装2022，Vol.22Issue(2)：88,1.

CMOS-MEMS薄膜热导率的测量

宋翔宇 1许威1

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宋翔宇,许威..CMOS-MEMS薄膜热导率的测量[J].电子与封装,2022,22(2):88,1.

电子与封装

1681-1070

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