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石墨烯MEMS压力传感器Au/Sn共晶键合气密性封装

朱泽华 王俊强 陈绪文 齐越

电子元件与材料2022，Vol.41Issue(3)：P.304-308,5.
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电子元件与材料2022，Vol.41Issue(3)：P.304-308,5.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2022.1702

石墨烯MEMS压力传感器Au/Sn共晶键合气密性封装

朱泽华 1王俊强 2陈绪文 1齐越1

作者信息

  • 1. 中北大学仪器与电子学院,山西太原030051
  • 2. 中北大学仪器与电子学院,山西太原030051 中北大学前沿交叉科学研究院,山西太原030051
  • 折叠

摘要

关键词

石墨烯/MEMS压力传感器/Au/Sn键合/气密封装

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

朱泽华,王俊强,陈绪文,齐越..石墨烯MEMS压力传感器Au/Sn共晶键合气密性封装[J].电子元件与材料,2022,41(3):P.304-308,5.

基金项目

国家自然科学基金(61804137) （61804137）

国防科技173计划技术领域基金(2021JCJQJJ0172)。 （2021JCJQJJ0172）

电子元件与材料

OA北大核心CSTPCD

1001-2028

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