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基于金刚石钝化散热的栅区微纳尺度刻蚀研究

李义壮 郭怀新 郁鑫鑫 孔月婵 陈堂胜

电子元件与材料2022，Vol.41Issue(3)：P.309-314,6.
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电子元件与材料2022，Vol.41Issue(3)：P.309-314,6.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2022.1792

基于金刚石钝化散热的栅区微纳尺度刻蚀研究

李义壮 1郭怀新 1郁鑫鑫 1孔月婵 1陈堂胜1

作者信息

  • 1. 微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室,江苏南京210016 南京电子器件研究所,江苏南京210016
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摘要

关键词

金刚石薄膜/ICP刻蚀/O_(2)/Ar/CF_(4)/刻蚀速率/热管理

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

李义壮,郭怀新,郁鑫鑫,孔月婵,陈堂胜..基于金刚石钝化散热的栅区微纳尺度刻蚀研究[J].电子元件与材料,2022,41(3):P.309-314,6.

基金项目

国家自然科学基金(61904162)。 （61904162）

电子元件与材料

OA北大核心CSTPCD

1001-2028

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