电子与封装2022，Vol.22Issue(4)：16-20,5.DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2022.0403
基于Al2O3/NEA121堆叠薄膜的水氧阻隔性能研究
Research on Water and Oxygen Barrier Performance Based on Al2O3/NEA121 Encapsulation Film
彭荣 1杨振波 1王珺1
作者信息
- 1. 广州科技职业技术大学信息工程学院,广州 510000
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摘要
关键词
薄膜封装/无机/有机叠层薄膜/水汽透过率/原子层沉积/旋涂分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
彭荣,杨振波,王珺..基于Al2O3/NEA121堆叠薄膜的水氧阻隔性能研究[J].电子与封装,2022,22(4):16-20,5.
