电子元件与材料2022，Vol.41Issue(7)：673-679,7.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2022.1749
周期数n对(BSZT/BTO)n薄膜微观结构和电学性能的影响
Influence of the period n on the microstructure and electrical properties of ( BSZT/BTO) n thin films
季航 1胡睿 1余萍2
作者信息
- 1. 中国工程物理研究院 计量测试中心, 四川 绵阳 621000
- 2. 四川大学 材料科学与工程学院, 四川 成都 610041
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摘要
关键词
射频磁控溅射/多周期/(BSZT/BTO) n/漏电流密度分类
通用工业技术引用本文复制引用
季航,胡睿,余萍..周期数n对(BSZT/BTO)n薄膜微观结构和电学性能的影响[J].电子元件与材料,2022,41(7):673-679,7.
