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衬底材料对石墨烯薄膜生长影响研究

刘姗王伟蒋志伟樊瑞祥杨玉帅王凯

电子元件与材料2022，Vol.41Issue(7)：680-685,6.

电子元件与材料2022，Vol.41Issue(7)：680-685,6.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2022.1709

Effects of substrate materials on graphene film growth by PECVD method

刘姗 ¹王伟 ²蒋志伟 ¹樊瑞祥 ²杨玉帅 ¹王凯²

作者信息

石墨烯薄膜/等离子体化学气相淀积/HfO2薄膜/表面能/碳原子沉积

化学化工

刘姗,王伟,蒋志伟,樊瑞祥,杨玉帅,王凯..衬底材料对石墨烯薄膜生长影响研究[J].电子元件与材料,2022,41(7):680-685,6.

河北省自然科学基金(F2019202377) （F2019202377）

OA北大核心CSTPCD

ISSN：1001-2028

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