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基于常规CMOS工艺的单层多晶硅EEPROM单元设计

葛优 邹望辉

电子元件与材料2022,Vol.41Issue(7):719-724,6.
电子元件与材料2022,Vol.41Issue(7):719-724,6.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2022.0049

基于常规CMOS工艺的单层多晶硅EEPROM单元设计

A single-poly EEPROM cell based on standard CMOS process

葛优 1邹望辉1

作者信息

  • 1. 长沙理工大学 物理与电子科学学院,湖南 长沙 410114
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摘要

关键词

单层多晶硅EEPROM/常规CMOS工艺/MOS电容器/位粒度/富勒-诺德海姆隧穿效应/验证芯片

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

葛优,邹望辉..基于常规CMOS工艺的单层多晶硅EEPROM单元设计[J].电子元件与材料,2022,41(7):719-724,6.

基金项目

湖南省教育厅项目(20C0028) (20C0028)

湖南省自然科学基金(2020JJ4627) (2020JJ4627)

电子元件与材料

OA北大核心CSTPCD

1001-2028

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