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基于石英晶体微天平的质量型湿敏传感器研究进展

孟兰 颜炜钰 张浩 张冬至

电子元件与材料2022，Vol.41Issue(8)：794-801,809,9.
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电子元件与材料2022，Vol.41Issue(8)：794-801,809,9.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2022.0176

基于石英晶体微天平的质量型湿敏传感器研究进展

Progress of mass-type humidity sensor based on quartz crystal microbalance

孟兰 1颜炜钰 1张浩 2张冬至1

作者信息

  • 1. 中国石油大学(华东) 控制科学与工程学院, 山东 青岛 266580
  • 2. 中国石油大学(华东)机电工程学院, 山东 青岛 266580
  • 折叠

摘要

关键词

石英晶体微天平/湿度/综述/传感器/二维材料/金属氧化物/聚合物

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

孟兰,颜炜钰,张浩,张冬至..基于石英晶体微天平的质量型湿敏传感器研究进展[J].电子元件与材料,2022,41(8):794-801,809,9.

基金项目

国家自然科学基金(51777215) （51777215）

山东省重点研发计划项目(2018GSF117002) （2018GSF117002）

电子元件与材料

OA北大核心CSTPCD

1001-2028

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