电子元件与材料2022，Vol.41Issue(8)：822-826,5.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2022.1783
一种含有新型薄膜的硅基MEMS压力-温度集成传感器
An integrated pressure-temperature sensor based on silicon MEMS and a new film
陈果 1王江 2吴世海 2王韬 2张万里1
作者信息
- 1. 电子科技大学 电子科学与工程学院, 四川 成都 610054
- 2. 贵州航天智慧农业有限公司,贵州 贵阳 550025
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摘要
关键词
压阻式压力传感器/温度传感器/惠斯通电桥/开尔文四线法分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈果,王江,吴世海,王韬,张万里..一种含有新型薄膜的硅基MEMS压力-温度集成传感器[J].电子元件与材料,2022,41(8):822-826,5.
