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SOI基光波导传输损耗的研究

李逸康 张有润 葛超洋 汪煜 张波

电子与封装2022,Vol.22Issue(10):P.76-80,5.
电子与封装2022,Vol.22Issue(10):P.76-80,5.DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2022.1005

SOI基光波导传输损耗的研究

李逸康 1张有润 1葛超洋 2汪煜 2张波1

作者信息

  • 1. 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都610054
  • 2. 中国电子科技集团公司第五十八研究所,江苏无锡214035
  • 折叠

摘要

关键词

波导/传输损耗/内部散射损耗/表面散射损耗

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

李逸康,张有润,葛超洋,汪煜,张波..SOI基光波导传输损耗的研究[J].电子与封装,2022,22(10):P.76-80,5.

电子与封装

1681-1070

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