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一种基于三维集成电路的多位碳纳米管硅通孔

关文博 吕红亮 张玉明 张义门

电子元件与材料2022,Vol.41Issue(12):P.1357-1366,10.
电子元件与材料2022,Vol.41Issue(12):P.1357-1366,10.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2022.0390

一种基于三维集成电路的多位碳纳米管硅通孔

关文博 1吕红亮 1张玉明 1张义门1

作者信息

  • 1. 西安电子科技大学微电子学院,陕西西安710071
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摘要

关键词

碳纳米管硅通孔/差分信号传输/等效电路模型/噪声干扰/时域特性

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

关文博,吕红亮,张玉明,张义门..一种基于三维集成电路的多位碳纳米管硅通孔[J].电子元件与材料,2022,41(12):P.1357-1366,10.

基金项目

陕西省重点研发计划(2021GY-010)。 (2021GY-010)

电子元件与材料

OA北大核心CSTPCD

1001-2028

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