电子与封装2023，Vol.23Issue(1)：P.30-39,10.DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2023.0023
微波等离子体化学气相沉积法制备大尺寸单晶金刚石的研究进展
摘要
关键词
金刚石/微波等离子体化学气相沉积法/三维生长/拼接生长/异质外延分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
牟草源,李根壮,谢文良,王启亮,吕宪义,李柳暗,邹广田..微波等离子体化学气相沉积法制备大尺寸单晶金刚石的研究进展[J].电子与封装,2023,23(1):P.30-39,10.基金项目
广东省重点研发计划(2020B0101690001) （2020B0101690001）
四川省自然科学基金(2022NSFSC0886)。 （2022NSFSC0886）
