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具有多场限环结构的SiC LDMOS击穿特性研究

彭华溢 汪再兴 高金辉 保玉璠

电子元件与材料2023,Vol.42Issue(1):50-56,7.
电子元件与材料2023,Vol.42Issue(1):50-56,7.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2023.1374

具有多场限环结构的SiC LDMOS击穿特性研究

Breakdown characteristics of SiC LDMOS with multi-field limiting ring structure

彭华溢 1汪再兴 1高金辉 1保玉璠1

作者信息

  • 1. 兰州交通大学 电子与信息工程学院,甘肃 兰州 730070
  • 折叠

摘要

关键词

SiC LDMOS/场限环/漂移区掺杂浓度/击穿电压/表面电场分布

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

彭华溢,汪再兴,高金辉,保玉璠..具有多场限环结构的SiC LDMOS击穿特性研究[J].电子元件与材料,2023,42(1):50-56,7.

基金项目

甘肃省科技厅计划项目(21YF5GA058) (21YF5GA058)

电子元件与材料

OA北大核心CSTPCD

1001-2028

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