电子元件与材料2023，Vol.42Issue(1)：63-68,6.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2023.1392
超临界流体改善IGZO薄膜晶体管光电特性研究
Electrical and optical performance improvement of IGZO thin film transistors by supercritical fluids treatment
摘要
关键词
薄膜晶体管/超临界流体/缺陷/迁移率/光电特性分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
董礼,王明格,张冠张..超临界流体改善IGZO薄膜晶体管光电特性研究[J].电子元件与材料,2023,42(1):63-68,6.基金项目
国家自然科学基金(面上项目)(62074007) （面上项目）
