电子元件与材料2023，Vol.42Issue(1)：69-75,7.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2023.1341
单轴MEMS热膨胀流陀螺灵敏度影响因素的探究
The influencing factors of sensitivity of single-axis MEMS thermal expansion flow gyro
摘要
关键词
热膨胀流陀螺/MEMS/COMSOL/灵敏度/非线性度分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
朴林华,李备,佟嘉程,张严..单轴MEMS热膨胀流陀螺灵敏度影响因素的探究[J].电子元件与材料,2023,42(1):69-75,7.基金项目
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