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基于混合介质的同轴-环形TSV传输特性分析

杨贺 张立文 杨陈 王金婵 曹磊

电子元件与材料2023,Vol.42Issue(1):110-117,8.
电子元件与材料2023,Vol.42Issue(1):110-117,8.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2023.1306

基于混合介质的同轴-环形TSV传输特性分析

Transmission characteristics of coaxial-annular TSV based on mixed dielectric layer

杨贺 1张立文 1杨陈 1王金婵 1曹磊1

作者信息

  • 1. 河南科技大学 电气工程学院,河南 洛阳 471023
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摘要

关键词

混合介质/同轴-环形/硅通孔/传输损耗/串扰

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

杨贺,张立文,杨陈,王金婵,曹磊..基于混合介质的同轴-环形TSV传输特性分析[J].电子元件与材料,2023,42(1):110-117,8.

基金项目

河南省重点研发与推广专项(科技攻关)项目(222102210207) (科技攻关)

河南省高等学校重点科研项目(21A510002,20B510006) (21A510002,20B510006)

电子元件与材料

OA北大核心CSTPCD

1001-2028

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