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FCBGA基板关键技术综述及展望

方志丹 于中尧 武晓萌 王启东

电子与封装2023,Vol.23Issue(3):25-33,9.
电子与封装2023,Vol.23Issue(3):25-33,9.DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2023.0061

FCBGA基板关键技术综述及展望

Overview and Prospect of Key Technologies of FCBGA Substrate

方志丹 1于中尧 1武晓萌 1王启东1

作者信息

  • 1. 中国科学院微电子研究所,北京100029
  • 折叠

摘要

关键词

倒装芯片球栅格阵列/味之素增层膜/半加成工艺/翘曲/嵌入式多芯片互连桥

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

方志丹,于中尧,武晓萌,王启东..FCBGA基板关键技术综述及展望[J].电子与封装,2023,23(3):25-33,9.

基金项目

中国科学院战略性先导科技专项资助(XDA0330200) (XDA0330200)

电子与封装

1681-1070

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