电子元件与材料2023,Vol.42Issue(3):314-319,6.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2023.1509
瞬态超高温MEMS石墨烯温度传感器设计
Design of transient ultra-high temperature MEMS graphene temperature sensor
摘要
关键词
瞬态超高温/石墨烯/热阻效应/外推法/温度传感器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张海坤,王俊强,康裕,李雪茹,吕晓霖..瞬态超高温MEMS石墨烯温度传感器设计[J].电子元件与材料,2023,42(3):314-319,6.基金项目
国防科技173计划技术领域基金(2021JCJQJJ0172) (2021JCJQJJ0172)