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瞬态超高温MEMS石墨烯温度传感器设计

张海坤 王俊强 康裕 李雪茹 吕晓霖

电子元件与材料2023,Vol.42Issue(3):314-319,6.
电子元件与材料2023,Vol.42Issue(3):314-319,6.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2023.1509

瞬态超高温MEMS石墨烯温度传感器设计

Design of transient ultra-high temperature MEMS graphene temperature sensor

张海坤 1王俊强 2康裕 2李雪茹 3吕晓霖3

作者信息

  • 1. 中北大学 能源动力工程学院, 山西 太原 030051||中北大学 前沿交叉科学研究院, 山西 太原 030051
  • 2. 中北大学 前沿交叉科学研究院, 山西 太原 030051||中北大学 仪器与电子学院, 山西 太原 030051
  • 3. 中北大学 前沿交叉科学研究院, 山西 太原 030051
  • 折叠

摘要

关键词

瞬态超高温/石墨烯/热阻效应/外推法/温度传感器

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张海坤,王俊强,康裕,李雪茹,吕晓霖..瞬态超高温MEMS石墨烯温度传感器设计[J].电子元件与材料,2023,42(3):314-319,6.

基金项目

国防科技173计划技术领域基金(2021JCJQJJ0172) (2021JCJQJJ0172)

电子元件与材料

OA北大核心CSTPCD

1001-2028

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