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生长在图形化蓝宝石衬底上的GaN薄膜光学性质研究

郑俊娜 王党会 许天旱

电子与封装2023,Vol.23Issue(4):75-79,5.
电子与封装2023,Vol.23Issue(4):75-79,5.DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2023.0028

生长在图形化蓝宝石衬底上的GaN薄膜光学性质研究

Optical Properties of GaN Films Grown on Patterned Sapphire Substrates

郑俊娜 1王党会 1许天旱1

作者信息

  • 1. 西安石油大学新能源学院,西安710065
  • 折叠

摘要

关键词

图形化蓝宝石衬底/GaN薄膜/光学性质

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

郑俊娜,王党会,许天旱..生长在图形化蓝宝石衬底上的GaN薄膜光学性质研究[J].电子与封装,2023,23(4):75-79,5.

电子与封装

1681-1070

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