电子与封装2023，Vol.23Issue(5)：85-88,4.DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2023.0039
FBAR滤波器的底电极图形化工艺研究
Study on the Bottom Electrode Graphic Technology of FBAR Filter
倪烨 1任秀娟 1段英丽 1张智欣 1陈长娥 1于海洋 1孟腾飞1
作者信息
摘要
关键词
FBAR滤波器/晶圆制造/图形化/斜坡形貌分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
倪烨,任秀娟,段英丽,张智欣,陈长娥,于海洋,孟腾飞..FBAR滤波器的底电极图形化工艺研究[J].电子与封装,2023,23(5):85-88,4.
