电子元件与材料2023，Vol.42Issue(5)：P.539-544,6.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2023.1758
石墨烯压力传感器Au-Si共晶键合的气密性封装
摘要
关键词
Au-Si键合/石墨烯/压力传感器/气密封装分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
吴天金,王俊强..石墨烯压力传感器Au-Si共晶键合的气密性封装[J].电子元件与材料,2023,42(5):P.539-544,6.基金项目
国防科技173计划技术领域基金项目(2021JCJQJJ0172)。 （2021JCJQJJ0172）
