电子与封装2023，Vol.23Issue(7)：64-70,7.DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2023.0087
基于微纳科研平台工艺验证的微米级标准CMOS关键工艺仿真
Micron-Level Standard CMOS Key Process Simulation Based on Process Verification of Micro-Nano Scientific Research Platform
王峥杰 1徐丽萍 2凌天宇 2瞿敏妮 2权雪玲 2乌李瑛 2程秀兰1
作者信息
- 1. 上海交通大学电子信息与电气工程学院,上海200240||上海交通大学先进电子材料与器件校级平台,上海200240
- 2. 上海交通大学先进电子材料与器件校级平台,上海200240
- 折叠
摘要
关键词
CMOS工艺/半导体器件/TCAD仿真Key words
CMOS process/semiconductor device/TCAD simulation分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王峥杰,徐丽萍,凌天宇,瞿敏妮,权雪玲,乌李瑛,程秀兰..基于微纳科研平台工艺验证的微米级标准CMOS关键工艺仿真[J].电子与封装,2023,23(7):64-70,7.
