电子元件与材料2023，Vol.42Issue(6)：699-703,5.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2023.1627
MEMS颅压监测传感器的设计与分析
Design and analysis of MEMS intra cranial pressure monitoring sensor
摘要
关键词
MEMS/颅压/扇形四短梁/压阻效应/惠斯通电桥Key words
MEMS/intracranial pressure/fan shaped four short beams/piezoresistive effect/Wheatstone bridge分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
许高斌,董娜娜,高雅,李明珠,冯建国..MEMS颅压监测传感器的设计与分析[J].电子元件与材料,2023,42(6):699-703,5.基金项目
国家重点研发计划项目(2020YFB2008901) （2020YFB2008901）
安徽省发改委研发创新项目(JZ2021AFKJ0050) （JZ2021AFKJ0050）
安徽省工程技术研究中心项目(PA2022AKGY0012) （PA2022AKGY0012）
中央高校基本科研业务费专项(JZ2021HGQA0254,JZ2021HGTA0147) （JZ2021HGQA0254,JZ2021HGTA0147）
