电子与封装2023，Vol.23Issue(8)：1-12,12.DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2023.0098
多功能传感器集成综述
Review of Multifunction Sensor Integration
吕佩珏 1李嘉怡 1金玉丰 1黄哲 1王晓明 1杨知雨 1林晨希 1王铭强 1杨洋 1胡然 1苟秋1
作者信息
- 1. 北京大学深圳研究生院,广东深圳518055
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摘要
关键词
多功能传感器/集成/MEMS-CMOSKey words
multifunction sensors/integration/MEMS-CMOS分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
吕佩珏,李嘉怡,金玉丰,黄哲,王晓明,杨知雨,林晨希,王铭强,杨洋,胡然,苟秋..多功能传感器集成综述[J].电子与封装,2023,23(8):1-12,12.
