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3英寸双面YBCO薄膜的MOCVD制备研究

王其琛 夏钰东 赵睿鹏 曾成 陶伯万

电子元件与材料2023，Vol.42Issue(12)：P.1411-1415,5.
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电子元件与材料2023，Vol.42Issue(12)：P.1411-1415,5.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2023.0431

3英寸双面YBCO薄膜的MOCVD制备研究

王其琛 1夏钰东 1赵睿鹏 2曾成 3陶伯万2

作者信息

  • 1. 西南交通大学物理科学与技术学院,四川成都610031
  • 2. 电子科技大学电子薄膜与集成器件全国重点实验室,四川成都610054
  • 3. 电子科技大学光电科学与工程学院,四川成都610054
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摘要

关键词

MOCVD/铝酸镧/高温超导薄膜/YBCO

分类

数理科学

引用本文复制引用

王其琛,夏钰东,赵睿鹏,曾成,陶伯万..3英寸双面YBCO薄膜的MOCVD制备研究[J].电子元件与材料,2023,42(12):P.1411-1415,5.

基金项目

国家自然科学基金(51872040)。 （51872040）

电子元件与材料

OA北大核心CSTPCD

1001-2028

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