电子元件与材料2024,Vol.43Issue(1):P.47-54,8.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2024.1422
TSV阵列在温度循环下的晶格变化对电学性能影响的研究
摘要
关键词
TSV阵列/温度循环/绝缘性能/微观缺陷/晶格特性变化分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
梁堃,王月兴,何志刚,赵伟..TSV阵列在温度循环下的晶格变化对电学性能影响的研究[J].电子元件与材料,2024,43(1):P.47-54,8.基金项目
国家自然科学基金(12305313)。 (12305313)