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双阶梯型薄膜体声波谐振器有限元仿真分析

周晓伟 吴秀山 孙坚 徐霖

电子元件与材料2024，Vol.43Issue(1)：P.97-103,7.
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电子元件与材料2024，Vol.43Issue(1)：P.97-103,7.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2024.1111

双阶梯型薄膜体声波谐振器有限元仿真分析

周晓伟 1吴秀山 2孙坚 3徐霖1

作者信息

  • 1. 中国计量大学机电工程学院,浙江杭州310018 浙江水利水电学院电气工程学院,浙江杭州310018
  • 2. 浙江水利水电学院电气工程学院,浙江杭州310018
  • 3. 中国计量大学机电工程学院,浙江杭州310018
  • 折叠

摘要

关键词

薄膜体声波谐振器/有限元仿真/寄生谐振/谐振频率/双阶梯结构/品质因数

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

周晓伟,吴秀山,孙坚,徐霖..双阶梯型薄膜体声波谐振器有限元仿真分析[J].电子元件与材料,2024,43(1):P.97-103,7.

基金项目

浙江省自然科学基金(LY21F040001)。 （LY21F040001）

电子元件与材料

OA北大核心CSTPCD

1001-2028

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