双阶梯型薄膜体声波谐振器有限元仿真分析OA北大核心CSTPCD
为了抑制薄膜体声波谐振器(FBAR)的寄生谐振同时满足5G通信的高频需求,基于Comsol Multiphysics仿真软件建立薄膜体声波谐振器的二维和三维有限元模型,研究了压电材料、电极横向尺寸和电极形状对寄生谐振的影响,并讨论了电极框架结构对FBAR并联谐振频率(f_(p))处的品质因数(Q_(p))的影响。基于分析,提出并设计了一种双阶梯电极框架结构的FBAR,该结构的FBAR以AlN为压电材料,电极形状为五边形,中心频率为3.504 GH…查看全部>>
周晓伟;吴秀山;孙坚;徐霖
中国计量大学机电工程学院,浙江杭州310018 浙江水利水电学院电气工程学院,浙江杭州310018浙江水利水电学院电气工程学院,浙江杭州310018中国计量大学机电工程学院,浙江杭州310018中国计量大学机电工程学院,浙江杭州310018 浙江水利水电学院电气工程学院,浙江杭州310018
电子信息工程
薄膜体声波谐振器有限元仿真寄生谐振谐振频率双阶梯结构品质因数
《电子元件与材料》 2024 (1)
P.97-103,7
浙江省自然科学基金(LY21F040001)。
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