光学精密工程2024，Vol.32Issue(5)：P.740-751,12.DOI:10.37188/OPE.20243205.0740
多光谱图像融合的IC器件表面缺陷检测
摘要
关键词
缺陷检测/IC器件/多光谱图像融合/图像配准/非下采样剪切波变换/YOLOv8s分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
邓耀华,黄志海..多光谱图像融合的IC器件表面缺陷检测[J].光学精密工程,2024,32(5):P.740-751,12.基金项目
东莞市重点领域研发项目(No.20221200300042) （No.20221200300042）
广东省基础与应用基础研究基金资助项目(No.2022B1515120053)。 （No.2022B1515120053）
