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电解液温度对Ta_(2)O_(5)阳极氧化膜结构和性能的影响

田超 王凤华 郑传江 刘开文

电子元件与材料2024,Vol.43Issue(2):P.197-203,7.
电子元件与材料2024,Vol.43Issue(2):P.197-203,7.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2024.1299

电解液温度对Ta_(2)O_(5)阳极氧化膜结构和性能的影响

田超 1王凤华 1郑传江 1刘开文1

作者信息

  • 1. 中国振华(集团)新云电子元器件有限责任公司,贵州贵阳550018
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摘要

关键词

Ta_(2)O_(5)/阳极氧化法/电解液温度/化学组成/介电性能

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

田超,王凤华,郑传江,刘开文..电解液温度对Ta_(2)O_(5)阳极氧化膜结构和性能的影响[J].电子元件与材料,2024,43(2):P.197-203,7.

电子元件与材料

OA北大核心CSTPCD

1001-2028

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