电子与封装2024，Vol.24Issue(4)：P.8-13,6.DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2024.0016
有限元仿真优化布局解决金金键合局域化问题
张丹青 1韩易 1商庆杰 1宋洁晶 1杨志1
作者信息
- 1. 中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄050051
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摘要
关键词
封装技术/金金键合/MEMS环形器/有限元仿真分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张丹青,韩易,商庆杰,宋洁晶,杨志..有限元仿真优化布局解决金金键合局域化问题[J].电子与封装,2024,24(4):P.8-13,6.
