电子与封装2024，Vol.24Issue(4)：P.75-84,10.DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2024.0041
先进制程芯片失效定位技术现状及发展
摘要
关键词
失效分析/先进制程芯片/电子失效定位/光学失效定位分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李振远,徐昊,贾沛,万永康,张凯虹,孟智超..先进制程芯片失效定位技术现状及发展[J].电子与封装,2024,24(4):P.75-84,10.基金项目
科技部重点研发计划(2018YFB2202900)。 （2018YFB2202900）
