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基于氮化钛圆台结构的超材料层叠吸收器研究OA北大核心CSTPCD

中文摘要

在光学促吸收方面,考虑到贵金属昂贵的成本问题,研究了基于氮化钛圆台结构的超材料叠层吸收器。通过对等离激元理论和MIM结构理论的研究,证明多层叠层结构可以有效改善结构的光学参数匹配问题,进而实现特定波长的促吸收。通过构建氮化钛超材料结构模型,分析其近红外吸收性能。并对初始结构进行优化,主要包括上表面二氧化硅厚度、下表面二氧化硅厚度、氮化钛圆台厚度和直径、入射光角度等参数,最终获得优化后的结构性能。在1500~2500 nm波长范围内的平均吸收率达到了96.04%,相比初始研究模型,吸收效率提升了约16%。

鲍辙亦;刘春梅;吴元庆;张宇峰;

渤海大学物理科学与技术学院,辽宁锦州121013渤海大学物理科学与技术学院,辽宁锦州121013 辽宁省微电子工艺控制重点实验室,辽宁锦州121013

计算机与自动化

氮化钛超材料等离激元谐振腔

《电子元件与材料》 2024 (008)

P.944-949 / 6

国家自然科学基金(61575029)。

10.14106/j.cnki.1001-2028.2024.0203

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