材料工程2024，Vol.52Issue(9)：P.11-18,8.DOI:10.11868/j.issn.1001-4381.2023.000842
基于沉积温度的氧化铟锡微结构调控及性能
马可欣 1曹丽莉 2罗飞 3周海涛 3王瑶 4罗炳威 3徐毅 5刘松 5孙坤6
作者信息
- 1. 北京航空航天大学材料科学与工程学院,北京100083 中国航发北京航空材料研究院,北京100095
- 2. 北京信息科技大学光电测试技术及仪器教育部重点实验室,北京100192
- 3. 中国航发北京航空材料研究院,北京100095
- 4. 北京航空航天大学材料科学与工程学院,北京100083
- 5. 中国航发四川燃气涡轮研究院,四川绵阳621000
- 6. 中国航发沈阳发动机研究所,沈阳110015
- 折叠
摘要
关键词
ITO薄膜/薄膜热电偶/沉积温度/热电性能分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
马可欣,曹丽莉,罗飞,周海涛,王瑶,罗炳威,徐毅,刘松,孙坤..基于沉积温度的氧化铟锡微结构调控及性能[J].材料工程,2024,52(9):P.11-18,8.
