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AZO/Bi_(2)O_(3)复合薄膜的制备及压敏电阻特性研究

余奇岭 易巧钧 薛腊梅 张锋

电子元件与材料2024,Vol.43Issue(11):P.1293-1298,6.
电子元件与材料2024,Vol.43Issue(11):P.1293-1298,6.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2024.0189

AZO/Bi_(2)O_(3)复合薄膜的制备及压敏电阻特性研究

余奇岭 1易巧钧 1薛腊梅 2张锋1

作者信息

  • 1. 重庆理工大学理学院,重庆400054
  • 2. 重庆联合微电子中心有限责任公司,重庆400030
  • 折叠

摘要

关键词

AZO薄膜/压敏电阻特性/氧化铋/磁控溅射

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

余奇岭,易巧钧,薛腊梅,张锋..AZO/Bi_(2)O_(3)复合薄膜的制备及压敏电阻特性研究[J].电子元件与材料,2024,43(11):P.1293-1298,6.

基金项目

重庆理工大学研究生创新项目(gzlcx20232091)。 (gzlcx20232091)

电子元件与材料

OA北大核心CSTPCD

1001-2028

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