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非熔性脉冲激光退火绝缘栅双极晶体管仿真研究

刘阳 袁和平 陈译 何堤 林岚杰

电子元件与材料2024，Vol.43Issue(11)：P.1406-1411,1417,7.
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电子元件与材料2024，Vol.43Issue(11)：P.1406-1411,1417,7.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2024.0096

非熔性脉冲激光退火绝缘栅双极晶体管仿真研究

刘阳 1袁和平 1陈译 2何堤 1林岚杰2

作者信息

  • 1. 厦门理工学院机械与汽车工程学院,福建厦门361024 福建省绿色智能清洗技术与装备重点实验室,福建厦门361024
  • 2. 厦门理工学院光电与通信工程学院,福建厦门361024
  • 折叠

摘要

关键词

非熔性脉冲激光/绝缘栅双极晶体管/温度场/结深/电学性能

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

刘阳,袁和平,陈译,何堤,林岚杰..非熔性脉冲激光退火绝缘栅双极晶体管仿真研究[J].电子元件与材料,2024,43(11):P.1406-1411,1417,7.

基金项目

福建省自然科学基金(2019J01875)。 （2019J01875）

电子元件与材料

OA北大核心CSTPCD

1001-2028

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