水下纳秒激光制备柔性温度传感器电极OA北大核心CSTPCD

针对传统MEMS工艺制备柔性温度传感器电极工艺流程复杂、制造成本高等问题,提出了水下纳秒激光加工柔性温度传感器电极的方法。首先,设计了一种线宽为600μm的柔性温度传感器电极。其次,采用水下纳秒激光加工方法实现10μm镍薄膜的切割。采用扫描电子显微镜观察加工后的电极表面,结果表明电极表面无明显氧化和毛刺。通过光学显微镜测量水下纳秒激光加工后的电极线宽为550μm,相比于设计尺寸,加工误差仅为50μm,具有良好的加工精度。在25~90℃范围内,所制备的柔性温度传感器具有良好的灵敏度和线性度,其电阻湿度系数为0.0109/℃。