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水下纳秒激光制备柔性温度传感器电极

姜涛 赵娜

电子元件与材料2024，Vol.43Issue(12)：P.1463-1467,5.
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电子元件与材料2024，Vol.43Issue(12)：P.1463-1467,5.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2024.0243

水下纳秒激光制备柔性温度传感器电极

姜涛 1赵娜2

作者信息

  • 1. 长春大学电子信息工程学院,吉林长春130000
  • 2. 吉林省政府投资基金管理有限公司,吉林长春130000
  • 折叠

摘要

关键词

柔性温度传感器/纳秒激光/电极/镍薄膜/加工精度

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

姜涛,赵娜..水下纳秒激光制备柔性温度传感器电极[J].电子元件与材料,2024,43(12):P.1463-1467,5.

基金项目

吉林省教育厅项目(JJKH20220594KJ) （JJKH20220594KJ）

吉林省科技厅项目(20240304123SF)。 （20240304123SF）

电子元件与材料

OA北大核心CSTPCD

1001-2028

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