电子与封装2025，Vol.25Issue(2)：P.74-78,5.DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2025.0026
VIISta HCS离子注入机在离子束优化与检测期间的金属污染探究及改善
李天清1
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- 1. 新吴区信湖路20号,江苏无锡214000
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摘要
关键词
离子注入/离子束/金属污染/法拉第杯分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李天清..VIISta HCS离子注入机在离子束优化与检测期间的金属污染探究及改善[J].电子与封装,2025,25(2):P.74-78,5.
