电子元件与材料2025，Vol.44Issue(2)：P.135-141,7.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2025.1338
柔性氧化锌声表面波器件的研究
摘要
关键词
磁控溅射/云母/ZnO/SrTiO_(3)/声表面波谐振器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘兴鹏,王明宣,张永杰,杨俊锋,邓卫平..柔性氧化锌声表面波器件的研究[J].电子元件与材料,2025,44(2):P.135-141,7.基金项目
广西自然科学基金(2023GXNSFBA026216) （2023GXNSFBA026216）
广西电子信息材料构效关系重点实验室自主研究基金(231015-Z)。 （231015-Z）
