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α-Al_(2)O_(3)对MEMS氢气传感器Ni测温薄膜的阻氢机制及验证

赫树开 曾晓哲 王幸辉 张志辉 赵亮 王玉锦 姜利英 杨晨

电子元件与材料2025，Vol.44Issue(8)：P.986-992,7.
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电子元件与材料2025，Vol.44Issue(8)：P.986-992,7.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2025.0297

α-Al_(2)O_(3)对MEMS氢气传感器Ni测温薄膜的阻氢机制及验证

赫树开 1曾晓哲 1王幸辉 1张志辉 1赵亮 1王玉锦 1姜利英 2杨晨3

作者信息

  • 1. 河南省日立信股份有限公司,河南郑州450001
  • 2. 郑州轻工业大学电气信息工程学院,河南郑州450002
  • 3. 中国船舶集团有限公司第七一三研究所,河南郑州450015
  • 折叠

摘要

关键词

MEMS氢气传感器/Ni测温薄膜/α-Al_(2)O_(3)/阻氢机制/第一性原理分子动力学

分类

化学化工

引用本文复制引用

赫树开,曾晓哲,王幸辉,张志辉,赵亮,王玉锦,姜利英,杨晨..α-Al_(2)O_(3)对MEMS氢气传感器Ni测温薄膜的阻氢机制及验证[J].电子元件与材料,2025,44(8):P.986-992,7.

基金项目

2023年度河南省重大科技专项项目(231100220800)。 （231100220800）

电子元件与材料

OA北大核心

1001-2028

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