电子元件与材料2025，Vol.44Issue(10)：P.1169-1175,7.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2025.0046
高电感值MEMS拱形电感器的设计与工艺研究
张波 1闻小龙 1万亚东 1张超 2李建华1
作者信息
- 1. 北京科技大学数理学院,北京100083 北京市弱磁检测及应用工程技术研究中心,北京100083
- 2. 北京市弱磁检测及应用工程技术研究中心,北京100083
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摘要
关键词
电感器/拱形线圈/聚酰亚胺/非晶合金丝分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张波,闻小龙,万亚东,张超,李建华..高电感值MEMS拱形电感器的设计与工艺研究[J].电子元件与材料,2025,44(10):P.1169-1175,7.
