电子与封装2026，Vol.26Issue(2)：P.1-8,8.DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2026.0014
三维集成无源电路研究进展
摘要
关键词
三维集成/射频系统/无源电路/垂直互连分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
邓悦,王凤娟,尹湘坤,杨媛,余宁梅..三维集成无源电路研究进展[J].电子与封装,2026,26(2):P.1-8,8.基金项目
国家自然科学基金(92364101、62274133、62174134) （92364101、62274133、62174134）
国家重点研发计划(2022YFB4401303) （2022YFB4401303）
陕西省重点研发计划(2023-YBGY-118) （2023-YBGY-118）
陕西省教育厅青年创新团队建设研究计划(21JP080)。 （21JP080）
