电子与封装2026，Vol.26Issue(8)：P.6-11,6.DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2026.0077
添加剂对微电子正溴丙烷清洗剂性能的影响
摘要
关键词
微电子工艺/清洗工艺/正溴丙烷/热稳定性/材料兼容性分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
蒋东廷,黄国平,刘颖潇,唐志旭,吴国强,王晓卫..添加剂对微电子正溴丙烷清洗剂性能的影响[J].电子与封装,2026,26(8):P.6-11,6.基金项目
深圳市科技计划(JSGG2022083111080510)。 （JSGG2022083111080510）
