- 年份
- 2000（1）
- 核心收录
- 中国科学引文数据库(CSCD)（1）
- 中国科技论文与引文数据库(CSTPCD)（1）
- 刊名
- 材料科学与工程（1）
- 作者单位
- 兰州大学（1）
- 北京工业大学（1）
- 语种
- 汉语（1）
- 关键词
- BCN薄膜 射频反应溅射 结构和电学特性（1）
- 作者
- 岳金顺（1）
- 程文娟（1）
- 蒋钢娟（1）
- 贺德衍（1）
- 陈光华（1）
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- BCN薄膜的射频反应溅射法制备与结构特性CSCDCSTPCD摘要：本文研究以六方BN为靶材,CH4为反应气体,利用射频溅射技术制备BCN三元化合物薄膜.样品的结构由X射线衍射谱、傅立叶变换红外吸收谱和X射线光电子能谱等方法进行表征.实验结果表明样品是具有类石墨涡旋蜂窝状结构的BCN三元化合物.通过改变CH4分压,能够控制薄膜中的C含量:随CH4分压的增高,薄膜中C含量增大,电导率也显著增大.当CH4分压比在10%附近时,样品呈现半导体特性,由电导率-温度关系曲线求得电导激活能约为0.8eV.