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- 一种新型的YSZ栅MOS氧传感器及其响应机理北大核心CSCDAbstract:YSZ栅MOS氧传感器是一种新型的氧敏器件,它是通过在场效应晶体管的绝缘栅上沉积一薄层YSZ制成。本文介绍这种传感器的响应机理,讨论YSZ固体电解质的晶体结构对电导率的影响,给出微观分析结果和对时间的迅速响应特性。
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