- 年份
- 2012（1）
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- 刊名
- 材料科学与工程学报（1）
- 作者单位
- 浙江大学（1）
- 语种
- 汉语（1）
- 关键词
- 四乙氧基硅烷（1）
- 基底温度（1）
- 大气压（1）
- 氧化硅薄膜（1）
- 氮气（1）
- 非平衡等离子体枪（1）
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- 作者
- 张溪文（1）
- 林江（1）
- 韩高荣（1）
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- 大气压非平衡等离子体沉积氧化硅薄膜北大核心CSCDCSTPCD